光電子武藝的“破繭”之路

■本報記者 胡珉琦

克日，中國封建院半導體研討所（以下簡稱半導體所）“半導體光電子器件及集成武藝”中選了中科院“率先舉動”方案第一階段嚴重后果及標志性歷程。

作為國度信息產業的基本武藝之一，光電子武藝在寬帶互聯網、高功能盤算、智能機器人、優秀制造和伶俐都市等多個范疇起到緊張性支持作用。它也因此成為了權衡一個國度綜合才能和國際競爭力的緊張標志。

認準了半導體光電子器件及集成武藝是構建將來信息社會的中心和基本，半導體地點“十二五”和“十三五”時期，分散將其作為重點培養朝向和嚴重打破朝向，堅持面向國度嚴重需求，打破半導體光電子器件及集成武藝的瓶頸，研制出自主可控中心光電子器件，以完成其在光通訊、光互連、光傳感等范疇的典范使用。

在限定中打破

新一代信息武藝、機器人、航空航天裝備、新動力汽車、新質料、生物醫藥及高功能醫療器具等，這些中國制造重點范疇都離不開一項支持武藝——激光武藝。

而半導體激光器是全固態激光、光纖激光、氣體激光等的泵浦源，是中心器件，不成或缺、不成交換。但我國在激光芯片方面的提高現狀卻是低端芯片依托入口，高端芯片受制于人。

1996年11月開頭實行的《瓦森納協議》明白了對中國禁運的半導體激光芯片的清單，且隨著武藝的演進，每年清單中的器件典范、器件目標都在不休更新，旨在將中國的半導體激光器使用武藝限定在低端水平。

2003年博士后研討事情完畢后前往半導體所的鄭婉華，只想到了一條出路——打破高功能激光芯片武藝，并且必需探究一條自主提高的路途，完成換道超車。

當年她向科技部提出發起，中國應該創新提高光子晶體半導體激光器新原理與新武藝，處理半導體激光面臨的功率密度低、光束質量差的天下性困難。這一發起不僅取得了“863”項目標支持，終期也取得了國度天然封建基金等新項目標協助。鄭婉華團隊在2006年率先在中國完成光子晶體激光的打破，中國也成為了事先完成光子晶體激光激射的少數幾個國度之一。

許大多導體人都有著和鄭婉華一樣的境遇和履歷。“限定”反而成了光電子武藝打破的磨刀石。

相反困難迎戰的另有光通訊芯片團隊。國度寬帶網絡建立的中心芯片，從前主要把握在美國、日本、韓國、丹麥及英國等國的幾家企業手中，中國以入口芯片封裝為主。面臨國度光網絡建立需求，半導體所顛末10多年的武藝攻關，不僅處理了光分路器及AWG芯片計劃及緊張工藝成績，還完成了光分路器及AWG的后果轉化。如今，光分路器芯片舉世市場占據率達50%以上，AWG芯片完成外洋市場打破，上心保證了我國寬帶網絡建立芯片的自主可控，促進了我國硅基光子學器件的產業鏈完備性建立。

度過漫長的沉默期

光電子武藝，特別是芯片武藝，一頭是研發，一頭是制造。要從這一頭走到那一頭，并且穩穩地落地，常常是孤單又漫長的。

2010年，半導體所光通訊芯片團隊開啟了后果轉化之路。10年中，他們必要處理斲喪勻稱性、芯片良率、工藝安定性、一律性及可靠性等一系列成績。“這些成績在半導體所基本研討中并非重點眷注的成績，而在產業化中卻是必需處理的。”半導體所研討員安俊明報告《中國封建報》，為此，一款芯片必要30多次的計劃優化制版、上百次的實行流片驗證，才干使芯片功能到達國際同類芯片水平，與外洋芯片同臺競爭。

他說，團隊還十分注意每個細節的芯片開發辦法。“好比AWG芯片，布局中分五大局部，另有上千條波導的團結，而觸及的功能參數，每個通道就有十多個，看似千絲萬縷。一個參數的優劣受多方面的影響，怎樣準確推斷成績地點？團隊職員會把芯片的每一局部分散舉行研討，不放過任何約莫的影響要素，才使成績一步步取得處理。”

為了增速研討進度，團隊想盡了種種辦法。安俊明說：“我們常常會有一些方案，各位會猜測后果，好比我們以前猜測第一次流片的光分路器斲喪，有的說會到達10dB以下，有的說剛流片，不會那么興奮，這種賭博的辦法也提升了轉化速率。”

鄭婉華也坦言，實行室的武藝后果向市場轉化的歷程困難重重。

在她看來，半導體激光芯片是一個高資金投入、高茂密人才、高度裝備依托的武藝，假如上述成績得以克制，仍舊面臨實行室樣品向批量化轉移中的諸多工程武藝困難。“由于我們先于外洋展開這種高端激光芯片的批量制造，因此處理這些困難沒有捷徑可走，必需投入時間、人力、物力，且必要全體職員不急躁、沉下心，一個困難一個困難占領。”

“半導體光電子武藝范疇的研討事情，現在都是硬骨頭事情，存在公布文章難、出后果難的成績。在人才培養方面，由于很難取得種種人才稱呼，我們只能以身作則，以國度需求為己任，留住人才。”鄭婉華說。

強壯轉化步隊

半導體所除了以基本前沿為引領來立品，相反緊張的是在全盤辦事國度嚴重需求和百姓經濟提高中發揚不成交換的基本支持作用。急國度和市場之所需不休是該研討所堅持的科研文明。

鄭婉華表現，得益于國度、中科院“率先舉動”方案和研討地點武藝轉移方面的優厚政策，最大化地提升了年輕人的收入水平，從而漸漸吸引了一些有抱負、有志向的博士生留下去，投入到這項遺址中。

對科研職員而言，要投身轉移轉化，最難變化的是頭腦。假如頭腦變化不外來，再好的政策也無法推進。這就要求局部研討職員帶頭去從事后果轉化事情，從而構成樹模效應，讓更多人到場這一行列。

現在，以半導體所為武藝方的河南仕佳已成為國際上范圍最大的光無源芯片消費企業。本年8月，河南仕佳正式在科創板上市，這也為半導體所人走在后果轉化的路途上加足了決計。

值得一提的是，在這一歷程中，半導體所以前構成了一支從實際分析、計劃優化、工藝開發到產業化使用，完備的、練習有素的、勇于啃硬骨頭的團隊。也因此，半導體所承當了中科院科技后果轉移轉化重點專項（弘光專項）“硅基二氧化硅陣列波導光柵芯片產業化”，完成了我國數據中央及主干網中心波分復用芯片的國產化，愈加提升了科技后果轉化才能。

提到團隊培養的履歷，安俊明表現，“我們的特征是把研討生的培養放在產業轉化一線，使他們把握的知識更接地氣，他們的很多履歷、教導泉源于消費實踐，這在研討所是無法取得的。”云云培養的年輕人，在今后從事科研的歷程中，也會更注意我國光電子產業鏈中的難點成績、計劃及開發的實用性和產業轉化的可行性，更注意處理國度急需的產業化困難。

泉源： 《中國封建報》